1、PECVD工艺废气

PECVD设备尾气主要包含硅烷SiH4及氨气NH3等。

处理工艺:不锈钢燃烧筒→不锈钢硅烷燃烧洗涤塔-氨气洗涤塔+离心风机

主要特点:硅烷去除率高,氨气及其他水溶性气体净化率高，占地面积小，耐腐蚀，便于维修。

2.丝网印刷工艺废气

丝网印刷废气工艺主要涉及的主要设备印刷机和烧结炉，产生的废气主要是一些以脂类和醇类废气为主的有机废气及热废气。

处理工艺：采用活性炭纤维吸附塔。

主要特点：设备占地面积小，耐腐蚀，便于维修，无二次污染，净化效率较活性炭颗粒较高。

设备主要特点：洗涤塔采用酸/碱洗涤、水洗一体塔+活性炭吸附进行废气净化处理，自动化控制，达标排放，占地面积少、控制操作简单方便，处理效果佳、维护成本低。

干化等工艺产生的臭气采用酸碱洗涤吸收、生物除臭、光催化氧化、活性炭吸附等工艺处理，达标排放。